Teknisk konsult för RSM kommer att dela med dig av fördelarna med cylindriska och plana magnetronsputtringsmål?Jämfört med andra magnetronförstoftningsmål behåller cylindriska och plana magnetronförstoftningsmål fördelarna med god beläggningslikformighet för rektangulära plana mål och kan maximera användningen av mål genom följande två sätt:
(1) När de två grupperna (fyra) av ringformade gropar på ytan av målet når ett visst djup, kan målkärnan (magnetdelen) roteras 45° i förhållande till målröret, så att andra områden på målröret som inte har korroderats kan användas;
(2) När målkärnan för det cylindriska och plana magnetronförstoftningsmålet är utformat som en roterande målkärna (målkärnan roterar under förstoftning), kan målets yta jämnt förstoftas lager för lager utan gropar.Vid denna tidpunkt kommer målet att användas mest effektivt, och utnyttjandegraden av målet kan nå 50% ~ 60% När målmaterialet är ädelmetall är detta uppenbarligen av stor betydelse.
Genom att använda principen för magnet med polsko i koaxialt cylindriskt magnetronförstoftningsmål för att lösa problemet med magnetfält i ändarna, kan det rektangulära planmålet omvandlas till ett cylindriskt och plant magnetronförstoftningsmål, Målet kan maximera målets utnyttjandehastighet samtidigt som den goda beläggningslikformigheten hos det rektangulära planmålet bibehålls för att förbättra de ekonomiska fördelarna.
Posttid: 2022-04-04