För att stödja den filmbaserade industrin för piezoelektriska MEMS (pMEMS) sensorer och radiofrekvens (RF) filterkomponenter, används den aluminiumskandiumlegering som tillverkas av Rich Special Material Co., Ltd. speciellt för reaktiv avsättning av skandiumdopade aluminiumnitridfilmer .
Piezoelektriska tunnfilmsmaterial används i allt större utsträckning i fordons-, industriell och personlig elektronisk utrustning.Tillämpningar inkluderar pmt-baserade fingeravtryckssensorer och enheter för gestigenkänning, MEMS-mikrofoner, resonatorbaserade kemiska sensorer och medicinska sensorer.Dessutom behövs scandiumdopade aluminiumnitridfilmer alltmer för att realisera RF-filter för 5G-nätverkstillämpningar.Samtidigt ökar mängden aluminiumskandiumlegering.
Egenskaper för Al Sc Alloy
Mycket konsekvent kemisk homogenitet genom hela legeringen
Mycket konsekvent filmkemisk homogenitet under hela chipets och legeringens livslängd
Renhet >99,9 %, låg syrehalt, låg halt av kritiska föroreningar
Strikt kontrollera mikrostrukturen för att uppnå bästa sputterprestanda
Vakuumgjuten, helt tät legering med låg vidhäftning, låg variation och låg granularitet
Rich Special Material Co., Ltd. stöder en mängd olika legeringssmältning, målanpassning och FoU-tjänster.
Posttid: 2022-nov-11