Sprickor i förstoftningsmål förekommer vanligtvis i keramiska förstoftningsmål såsom oxider, karbider, nitrider och spröda material såsom krom, antimon, vismut.Låt nu RSMs tekniska experter förklara varför sputtermålet spricker och vilka förebyggande åtgärder som kan vidtas för att undvika denna situation.
Keramiska eller spröda materialmål innehåller alltid inneboende spänningar.Dessa inre spänningar genereras i måltillverkningsprocessen.Dessutom elimineras dessa spänningar inte helt av glödgningsprocessen, eftersom de är inneboende egenskaper hos dessa material.I förstoftningsprocessen överför bombardemangen av gasjoner deras rörelsemängd till målatomerna, vilket ger dem tillräckligt med energi för att separera dem från gittret.Denna exotermiska momentumöverföring gör att måltemperaturen stiger, vilket kan nå 1000000 ℃ på atomnivå.
Dessa termiska stötar ökar den befintliga inre spänningen i målet till många gånger.I det här fallet, om värmen inte avleds ordentligt, kan målet gå sönder.För att förhindra att målet spricker bör värmeavledning betonas.En vattenkylningsmekanism krävs för att avlägsna oönskad värmeenergi från målet.En annan fråga att överväga är ökningen av makten.För mycket kraft som appliceras på kort tid kommer också att orsaka termisk chock på målet.Dessutom föreslår vi att dessa mål binds till bakplanet, vilket inte bara kan ge stöd för målet, utan också främja bättre värmeväxling mellan målet och vattnet.Om målet har sprickor men är förbundet med bakplattan kan det fortfarande användas.
Rich Special Materials Co., Ltd. kan tillhandahålla sputtermål med bakplan.Den kan anpassas efter kundernas krav på material, tjocklek och bindningstyp.
Posttid: 21 september 2022