1. Magnetronförstoftningsmetod:
Magnetronförstoftning kan delas in i DC-förstoftning, medelfrekvensförstoftning och RF-förstoftning
A. Strömförsörjning med likströmsförstoftning är billig och densiteten för avsatt film är dålig.I allmänhet används fototermiska och tunnfilmsbatterier för hushåll med låg energi, och förstoftningsmålet är ett ledande metallmål.
B. RF-förstoftningsenergin är hög, och sputtermålet kan vara icke-ledande mål eller ledande mål.
C. Medelfrekvent sputtermål kan vara keramiskt mål eller metallmål.
2. Klassificering och tillämpning av sputtermål
Det finns många sorters sputtermål, och målklassificeringsmetoderna är också olika.Enligt formen är de uppdelade i långa mål, fyrkantiga mål och runda mål;Beroende på sammansättningen kan den delas in i metallmål, legeringsmål och keramiska sammansatta mål;Beroende på olika applikationsområden kan den delas in i halvledarrelaterade keramiska mål, inspelningsmedium keramiska mål, display keramiska mål, etc. Sputtering mål används huvudsakligen i elektroniska industrier och informationsindustrier, såsom informationslagringsindustrin.I denna industri används sputtermål för att förbereda relevanta tunnfilmsprodukter (hårddisk, magnethuvud, optisk skiva, etc.).För närvarande.Med den kontinuerliga utvecklingen av informationsindustrin ökar efterfrågan på att spela in medelstora keramiska mål på marknaden.Forskningen och produktionen av inspelningsmediemål har blivit föremål för omfattande uppmärksamhet.
Posttid: 11 maj 2022