Sputtrade molybdenmål har använts i stor utsträckning inom elektronikindustrin, solceller, glasbeläggning och andra områden på grund av deras inneboende fördelar.Med den snabba utvecklingen av modern teknik inom miniatyrisering, integration, digitalisering och intelligens kommer användningen av molybdenmål att fortsätta att öka, och kvalitetskraven för dem kommer också att bli allt högre.Så vi måste hitta sätt att förbättra utnyttjandegraden av molybdenmål.Nu kommer redaktören för RSM att introducera flera metoder för att förbättra utnyttjandegraden av sputterande molybdenmål för alla
1. Lägg till elektromagnetisk spole på baksidan
För att förbättra utnyttjandegraden av det förstoftade molybdenmålet kan en elektromagnetisk spole läggas till på baksidan av det plana Magnetronförstoftande molybdenmålet, och magnetfältet på ytan av molybdenmålet kan ökas genom att öka strömmen av den elektromagnetiska spolen, för att förbättra utnyttjandegraden av molybdenmålet.
2. Välj rörformigt roterande målmaterial
Jämfört med platta mål framhäver valet av en rörformad roterande målstruktur dess väsentliga fördelar.I allmänhet är utnyttjandegraden för platta mål endast 30 % till 50 %, medan utnyttjandegraden för rörformiga roterande mål kan nå över 80 %.Dessutom, när du använder det roterande ihåliga röret Magnetron-förstoftningsmålet, eftersom målet kan rotera runt den fasta stångmagnetenheten hela tiden, kommer det inte att ske någon återavsättning på dess yta, så det roterande målets livslängd är i allmänhet mer än 5 gånger längre än planmålet.
3. Byt ut mot ny sputterutrustning
Nyckeln till att förbättra utnyttjandegraden av målmaterial är att slutföra utbytet av förstoftningsutrustning.Under förstoftningsprocessen av molybdenförstoftande målmaterial kommer ungefär en sjättedel av förstoftningsatomerna att avsättas på vakuumkammarens vägg eller fäste efter att ha träffats av vätejoner, vilket ökar kostnaden för rengöring av vakuumutrustningen och stilleståndstiden.Så att ersätta ny förstoftningsutrustning kan också bidra till att förbättra utnyttjandegraden av förstoftande molybdenmål.
Posttid: 24 maj 2023