Underhållskunskap om sputtermål

Många vänner om underhållet av målet finns det mer eller mindre frågor, nyligen finns det också många kunder konsultera om underhåll av målet relaterade problem, låt redaktör för RSM för oss att dela om sputtering mål underhåll kunskap.

　　Hur ska sputtermål upprätthållas?

　　1、 Målunderhåll

För att undvika kortslutning och ljusbågsbildning orsakad av oren kavitet i sputteringsprocessen är det nödvändigt att periodiskt avlägsna sputtern som samlats i mitten och på båda sidor av sputterspåret, vilket också hjälper användare att kontinuerligt sputtera med hög effekttäthet.

　　2、 Mållagring

Vi rekommenderar att användarna förvarar målet (oavsett om det är metall eller keramik) i vakuumförpackning, speciellt det passande målet måste förvaras i vakuum för att förhindra att oxidationen av passningsskiktet påverkar passningskvaliteten.När det gäller förpackning av metallmål föreslår vi att de åtminstone bör packas i rena plastpåsar.

　　3、 Målrengöring

Det första steget är att rengöra med en luddfri mjuk trasa indränkt i aceton;

Det andra steget liknar det första steget, rengöring med alkohol;

Steg 3: rengör med avjoniserat vatten.Efter rengöring med avjoniserat vatten placeras målet i ugnen och torkas vid 100 ℃ i 30 minuter.Det rekommenderas att använda "luddfri trasa" för att rengöra oxid- och keramiska mål.

Det fjärde steget är att tvätta målet med argon med högt tryck och låg luftfuktighet för att avlägsna orena partiklar som kan orsaka ljusbåge i sputtersystemet.

　　4、 Kortslutning och täthetskontroll

Efter att målet är installerat måste hela katoden kontrolleras för kortslutning och täthet.Det rekommenderas att bedöma om det finns en kortslutning i katoden genom att använda en resistansmätare och en megger.Efter att ha bekräftat att det inte finns någon kortslutning i katoden kan vattenläckageinspektion utföras och vatten kan införas i katoden för att avgöra om det finns vattenläckage.

　　5、 Förpackning och transport

Alla mål är förpackade i vakuumförslutna plastpåsar med fuktsäkert medel.Den yttre förpackningen är vanligtvis en trälåda med ett anti-kollisionsskikt runt för att skydda målet och bakplanet från skador under transport och lagring.