Sputtrade målmaterial har höga krav under användning, inte bara för renhet och partikelstorlek, utan också för enhetlig partikelstorlek.Dessa höga krav gör att vi är mer uppmärksamma när vi använder sputtermålmaterial.
1. Sputtringsförberedelse
Det är mycket viktigt att upprätthålla renheten i vakuumkammaren, särskilt sputtersystemet.Smörjmedel, damm och eventuella rester från tidigare beläggningar kan ackumulera föroreningar som vatten, vilket direkt påverkar vakuumet och ökar sannolikheten för att filmbildningen misslyckas.Kortslutningar, ljusbåge, grova filmbildande ytor och alltför stora kemiska föroreningar orsakas vanligtvis av orena förstoftningskammare, pistoler och mål.
För att bibehålla beläggningens sammansättningsegenskaper måste förstoftningsgasen (argon eller syre) vara ren och torr.Efter att substratet har installerats i förstoftningskammaren måste luft sugas ut för att uppnå den erforderliga vakuumnivån för processen.
2. Målstädning
Syftet med målrengöring är att ta bort allt damm eller smuts som kan finnas på målytan.
3. Målinstallation
Det viktigaste att vara uppmärksam på under installationsprocessen av målmaterialet är att säkerställa en bra termisk anslutning mellan målmaterialet och sputterpistolens kylvägg.Om kylväggen eller bakplattan är kraftigt skev kan det orsaka sprickbildning eller böjning under installationen av målmaterialet.Värmeöverföringen från det bakre målet till målmaterialet kommer att påverkas kraftigt, vilket resulterar i oförmågan att avleda värme under förstoftning, vilket i slutändan leder till sprickbildning eller avvikelse av målmaterialet.
4. Kortslutnings- och tätningsinspektion
Efter installationen av målmaterialet är det nödvändigt att kontrollera kortslutningen och tätningen av hela katoden.Det rekommenderas att använda en ohmmeter och en megohmmeter för att avgöra om katoden är kortsluten.Efter att ha bekräftat att katoden inte är kortsluten kan en läckagedetektering utföras genom att injicera vatten i katoden för att avgöra om det finns något läckage.
5. Målmaterial före sputtering
Det rekommenderas att använda ren argongas för förförstoftning av målmaterialet, vilket kan rengöra ytan på målmaterialet.Det rekommenderas att långsamt öka förstoftningseffekten under förförstoftningsprocessen för målmaterialet.Kraften i det keramiska målmaterialet
Posttid: 19-10-2023