Den breda användningen av målmaterial inom olika yrken gör att efterfrågan på målmaterial blir allt högre.Det följande Vi ska kort presentera du vad är de primära funktionskraven för målet, hoping att hjälpa dig.
Renhet: Renhet är en av de primära funktionella indikatorerna för målet, eftersom målets renhet har stor inverkan på filmens funktion.Men i praktiken är renheten hos målmaterialet inte densamma.Till exempel, med den snabba tillväxten av mikroelektronikbranschen, har storleken på kiselskivan utvecklats från 6 ", 8 "till 12", och ledningsbredden har minskat från 0,5 um till 0,25 um, 0,18 um och till och med 0,13 um.När 99,995% av målrenheten kan uppfylla de tekniska kraven på 0,35UMIC.Förberedelsen av 0,18 um linje kräver 99,999% eller till och med 99,9999% renhet av målmaterialet.
Densitet: För att minska porositeten i målfastämnet och förbättra funktionen hos sputterfilmen krävs vanligtvis att målet har en hög densitet.Måldensiteten påverkar inte bara förstoftningshastigheten utan även de elektriska och optiska egenskaperna hos filmerna.Ju högre måltäthet, desto bättre funktion har filmen. Dessutom ökades målmaterialets densitet och hållfasthet för att göra det bättre för att motstå den termiska påfrestningen under sputtering.Densitet är också en av de viktiga funktionella indikatorerna för målämnen.
Föroreningsinnehåll: föroreningar i målfastämnet och syre och vattenånga i porerna är de primära föroreningskällorna för de ackumulerade filmerna. Olika målmaterial för olika ändamål har olika krav på olika föroreningsinnehåll.Till exempel har mål av rena aluminium och aluminiumlegeringar som används i halvledarindustrin särskilda krav på alkalimetallhalt och innehåll av radioaktiva grundämnen.
Posttid: 2022-06-06