Välkommen till våra hemsidor!

Sputterande mål med backboard-bindning

Bindande ryggtavlaprocess:

 

1、 Vad är bindande bindande?Det hänvisar till att använda lod för att svetsa målmaterialet till det bakre målet.Det finns tre huvudmetoder: krympning, hårdlödning och ledande lim.Målbindning används vanligtvis för hårdlödning, och hårdlödningsmaterial inkluderar vanligtvis In, Sn och In Sn.Generellt gäller att när mjuka hårdlödningsmaterial används krävs att förstoftningseffekten är mindre än 20W/cm2.

 

2、 Varför binda 1. Förhindra ojämn fragmentering av målmaterial under uppvärmning, såsom spröda mål såsom ITO, SiO2, keramik och sintrade mål;2. Spara * * * och förhindra deformation.Om målmaterialet är för dyrt kan det göras tunnare och bindas till bakmålet för att förhindra deformation.

 

3、 Val av ryggmål: 1. Rich Special Materials Co., Ltd. använder vanligtvis syrefri koppar med god ledningsförmåga, och den termiska ledningsförmågan hos syrefri koppar är bättre än för röd koppar;2. Tjockleken är måttlig, och det rekommenderas generellt att ha en ryggmålstjocklek på cirka 3 mm.För tjock, förbrukar viss magnetisk styrka;För tunn, lätt att deformera.

 

4、 Bindningsprocess 1. Förbehandla ytan på målmaterialet och bakmålet innan du binder.2. Placera målmaterialet och bakmålet på en hårdlödningsplattform och höj temperaturen till bindningstemperaturen.3. Metallisera målmaterialet och bakmålet.4. Bind fast målmaterialet och bakmålet.5. Kylning och efterbearbetning.

 

5、 Försiktighetsåtgärder vid användning av bundna mål: 1. Sputtringstemperaturen bör inte vara för hög.2. Strömmen bör långsamt ökas.3. Det cirkulerande kylvattnet bör vara under 35 grader Celsius.4. Lämplig måltäthet

 

6、 Anledningen till att bakplattan lossnar är att förstoftningstemperaturen är hög och att bakmålet är benäget att oxidera och skeva.Målmaterialet kommer att spricka under högtemperatursputtering, vilket gör att det bakre målet lossnar;2. Strömmen är för hög och värmeledningen är för snabb, vilket gör att temperaturen blir för hög och lodet smälter, vilket resulterar i ojämn lödning och lösgöring av bakmålet;3. Temperaturen på utloppet av det cirkulerande kylvattnet bör vara lägre än 35 grader Celsius, och den höga temperaturen på det cirkulerande vattnet kan orsaka dålig värmeavledning och lossning;4. Densiteten för själva målmaterialet, när målmaterialets densitet är mycket hög, är det inte lätt att adsorbera, det finns inga luckor och bakmålet är lätt att falla av.


Posttid: 2023-12-12