Teknik och tillämpning av High Purity Tungsten Target

Eldfasta volframmetaller och volframlegeringar har fördelarna med hög temperaturstabilitet, hög motståndskraft mot elektronmigrering och hög elektronemissionskoefficient.Högren volfram och volframlegeringsmål används huvudsakligen för att tillverka grindelektroder, anslutningsledningar, diffusionsbarriärskikt av integrerade halvledarkretsar.De har mycket höga krav på renhet, innehåll av föroreningselement, densitet, kornstorlek och enhetlig kornstruktur hos material.Låt oss ta en titt på faktorerna som påverkar beredningen av högrent volframmålby Rich Special Material Co.,Ltd.

I. Effekt av sintringstemperatur

Formningsprocessen av volframmålembryo görs vanligtvis av kallt isostatiskt tryck.Volframkornet växer upp under sintringen.Tillväxten av volframkorn kommer att fylla gapet mellan kristallgränserna, vilket ökar tätheten av volframmål.Med ökade sintringstider saktar densitetsökningen av volframmål gradvis ner.Den främsta anledningen är att kvaliteten på volframmålmaterial inte har förändrats mycket efter flera sintringsprocesser.Eftersom de flesta av tomrummen i kristallgränsen är fyllda av volframkristaller, är den totala storleksändringshastigheten för volframmål mycket liten efter varje sintringsprocess, vilket resulterar i begränsat utrymme för volframmåldensitet att öka.När sintringen fortskrider fylls stora volframkorn i tomrummen, vilket resulterar i ett tätare mål med mindre storlek.

2. Effekt avhäta konserveringstid

Vid samma sintringstemperatur förbättras kompaktheten hos volframmålmaterial med ökad sintringstid.Med ökningen av sintringstiden ökar volframkornstorleken, och med förlängningen av sintringstiden saktar kornstorlekstillväxtfaktorn ner gradvis.Detta visar att en ökning av sintringstiden också kan förbättra prestanda för volframmål.

3. Effekt av rullning på mål Pprestanda

För att förbättra tätheten hos volframmålmaterial och erhålla bearbetningsstrukturen för volframmålmaterial måste rullning av volframmålmaterial med medeltemperatur utföras under omkristallisationstemperaturen.När rullningstemperaturen för målämnet är hög är fiberstrukturen hos målämnet tjockare, medan den för målämnet är finare.När varmvalsningsutbytet är över 95 %.Även om skillnaden i fiberstruktur som orsakas av olika sintring av originalkorn eller valsningstemperatur kommer att elimineras, kommer mer homogen fiberstruktur att bildas inuti målet, så ju högre bearbetningshastighet för varmvalsning, desto bättre prestanda för målet.