Målet har en bred marknad, applikationsområde och stor utveckling i framtiden.För att hjälpa dig att få en bättre förståelse för målfunktionerna, här nedan kommer RSM-ingenjören kortfattat att introducera målets huvudsakliga funktionskrav.
Renhet: renhet är en av de viktigaste funktionella indikatorerna för målet, eftersom renheten hos målet har stor inverkan på filmens funktion.Men i praktisk tillämpning är renhetskraven för målet också olika.Till exempel, med den snabba utvecklingen av mikroelektronikindustrin, utökas storleken på kiselskivan från 6 "till 8" till 12 ", och ledningsbredden minskas från 0,5 um till 0,25 um, 0,18um eller till och med 0,13 um.Tidigare kan 99,995% av målrenheten uppfylla processkraven på 0,35um, medan framställningen av 0,18um-linjer kräver 99,999% eller till och med 99,9999% av målrenheten.
Föroreningsinnehåll: föroreningar i målfasta ämnen och syre och vattenånga i porerna är de huvudsakliga föroreningskällorna för avsatta filmer.Mål för olika ändamål har olika krav på olika föroreningshalter.Till exempel har mål av rena aluminium och aluminiumlegeringar som används i halvledarindustrin särskilda krav på alkalimetallinnehåll och innehåll av radioaktiva grundämnen.
Densitet: för att minska porerna i målfastämnet och förbättra funktionen hos sputterfilm krävs vanligtvis att målet har hög densitet.Målets densitet påverkar inte bara förstoftningshastigheten utan påverkar också filmens elektriska och optiska funktioner.Ju högre måltäthet, desto bättre funktion har filmen.Dessutom förbättras densiteten och styrkan hos målet så att målet bättre kan acceptera den termiska spänningen i förstoftningsprocessen.Densitet är också en av de viktigaste funktionella indikatorerna för målet.
Posttid: 20 maj 2022